Каталог: Техника и технология »•» Связь, электроника

	Пирс, К.; Адамс, А.; Кац, Л. и др. Технология СБИС В 2 томах
	Издательство: М.: Мир
	Переплет: твердый; 453 страниц; 1986 г.
	ISBN: [не указан]; Формат: стандартный
	Язык: русский
	На сайте с 10.07.2009

Аннотация

В книге ведущих американских специалистов освещены вопросы технологии изготовления кремниевых ИС.
В книге 1 рассмотрены вопросы получения монокристаллов кремния, подготовки подложек, выращивания эпитаксиальных слоев, осаждения пленок различных материалов, термического окисления, диффузии, ионной имплантации, а также литографические методы формирования топологических рисунков с субмикронными размерами элементов.
В книге 2 рассмотрены вопросы ионно-плазменной технологии применительно к процессам удаления вещества, металлизации ИС, моделирования основных технологических процессов формирования ИС. Описаны основные технологические схемы изготовления элементов СБИС (биполярная технология, n-МОП- и КМОП-технологии), методы исследования и контроля технологических процессов, герметизация готовых ИС, тестирования и надежность ИС.

В продаже  Хочу купить

Искать похожие  только название автор и название

Добавить объявление продаю хочу купить

листать